Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
2.Устройство для получения сос таиной пленки из разных элементов, включающее реакционную камеру, соединенную с вакуумной системой, установленный вн...
Публикация: 1984-04-07
...
Публикация: 2012-07-10
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ Настоящее изобретение в общем относится к устройству и способу для реакторов осаждения. В частности, но не исключительно, изобретение...
Публикация: 2013-12-27
Область техники, к которой относится изобретение Настоящее изобретение в целом относится к устройствам для осаждения или очистки и способам их эксплу...
Публикация: 2020-07-22
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ Настоящее изобретение, в общем, относится к атомно-слоевому осаждению (ALD, от англ. Atomic Layer De...
Публикация: 2020-07-28
Публикация: 2017-01-10
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ Изобретение в целом относится к реакторам осаждения. Более конкретно, но не исключительно, изобретение относится к таким реакторам ос...
Публикация: 2016-06-10
Область техники Изобретение относится к реакторам для нанесения материалов. Более конкретно, изобретение относится к реакторам атомно-слоевого осажде...
Публикация: 2017-05-23
Публикация: 2015-12-27
Область техники, к которой относится изобретение Настоящее изобретение относится к устройству осаждения атомного слоя (ALD - atomic layer deposition)...
Публикация: 2014-06-10
