Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Настоящее изобретение относится к области способов получения органо-неорганических слоистых материалов путем атомно-слоевого осаждения. Слоистые стру...
Публикация: 2019-07-08
...
Публикация: 2018-07-16
Публикация: 2013-09-10
Область техники, к которой относится изобретение Изобретение относится к устройству для осаждения атомных слоев на поверхность подложки. Изобретение ...
Публикация: 2015-07-10
Изобретение относится к устройству для нанесения атомного слоя на поверхность подложки. Изобретение относится также к способу нанесения атомного слоя...
Публикация: 2015-02-10
Публикация: 2012-10-10
(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СОСТАВНЫХ ПЛЕНОК НЕОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ НИКОВ и .Предотвращающей ковденсащно на :ней элемента после образования атомного сл...
Публикация: 1981-02-28