Способ загрузки подложки в реактор асо - RU2015122215A
Код документа: RU2015122215A
Формула
1. Способ, включающий:
загрузку партии подложек в держатель подложек, находящийся в загрузочной камере реактора для нанесения материалов, с формированием в держателе подложек вертикальной стопы горизонтально ориентированных подложек, и
разворот держателя подложек с целью получить горизонтальную стопу вертикально ориентированных подложек и опускание держателя подложек в реакционную камеру указанного реактора, чтобы произвести нанесение материала.
2. Способ по п. 1, в котором загрузка включает поштучный перенос каждой подложки загрузчиком через загрузочный порт в загрузочную камеру.
3. Способ по п. 1 или 2, включающий использование затвора, установленного между реакционной камерой и установленной над ней загрузочной камерой.
4. Способ по п. 1 или 2, включающий:
загрузку указанных подложек из носителя подложек посредством фронтального загрузочного модуля в станцию захвата/возврата и
поштучную загрузку указанных подложек из станции захвата/возврата через камеру переноса в загрузочную камеру.
5. Способ по п. 1 или 2, включающий разворот держателя подложек посредством вращательного движения.
6. Способ по п. 1 или 2, включающий подведение к держателю подложек с боковой стороны актуатора и разворот держателя подложек посредством актуатора.
7. Способ по п. 1 или 2, включающий воздействие на партию подложек в реакционной камере разделенными во времени импульсами подачи прекурсоров с целью нанесения материала на поверхности подложек посредством последовательных самоограниченных поверхностных реакций.
8. Аппарат, содержащий загрузчик, способный загрузить партию подложек в держатель подложек, находящийся в загрузочной камере реактора для нанесения материалов, с формированием в держателе подложек вертикальной стопы горизонтально ориентированных подложек,
при этом аппарат содержит механизм разворота, сконфигурированный для разворота держателя подложек с целью получить горизонтальную стопу вертикально ориентированных подложек, и подъемник, сконфигурированный для опускания держателя подложек в реакционную камеру указанного реактора, чтобы произвести нанесение материала.
9. Аппарат по п. 8, в котором загрузчик способен осуществлять поштучный перенос всех подложек через загрузочный порт в загрузочную камеру.
10. Аппарат по п. 8 или 9, содержащий затвор, находящийся между реакционной камерой и установленной над ней загрузочной камерой.
11. Аппарат по п. 8 или 9, содержащий:
фронтальный загрузочный модуль, сконфигурированный для загрузки подложек из носителя подложек в станцию захвата/возврата, и
загрузочное устройство, сконфигурированное для поштучной загрузки указанных подложек из станции захвата/возврата через камеру переноса в загрузочную камеру.
12. Аппарат по п. 8 или 9, в котором механизм разворота сконфигурирован для разворота держателя подложек посредством вращательного движения.
13. Аппарат по п. 8 или 9, в котором механизм разворота сконфигурирован для доступа к держателю подложек с его боковой стороны и для разворота указанного держателя.
14. Аппарат по п. 8 или 9, содержащий группу установленных в заданное положение по отношению друг к другу реакторов для нанесения материалов и загрузочное устройство, сконфигурированное с возможностью загружать каждый из указанных реакторов.
