Способ и устройство для реакторов осаждения - RU2010150684A

Реферат

1. Способ, в котором: ! вводят пары прекурсора по меньшей мере по одной подающей линии в реакционную камеру реактора осаждения и ! осаждают материал на поверхности партии вертикально расположенных подложек в реакционной камере посредством установления вертикального потока паров прекурсора в реакционной камере и введения его в вертикальном направлении в промежутки между указанными вертикально расположенными подложками таким образом, что пары прекурсора текут от верхней стороны реакционной зоны к нижней стороне реакционной зоны вдоль каждой из указанных поверхностей по существу в одном и том же параллельном вертикальном направлении. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что указанная партия вертикально расположенных подложек включает набор пластин, расположенных параллельно в держателе подложек, причем указанный набор пластин включает по меньшей мере две пластины. ! 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что держатель подложек загружают в реакционную камеру и выгружают из реакционной камеры с верхней стороны реакционной камеры. ! 4. Способ по п.2, отличающийся тем, что держатель подложек закрепляют на подвижной крышке реакционной камеры. ! 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что пары прекурсора подают в реакционную камеру через крышку реакционной камеры. ! 6. Способ по п.5, отличающийся тем, что пары прекурсора подают через крышку реакционной камеры в расширительный объем, а из этого расширительного объема в вертикальном направлении через распределительную пластину - в часть реакционной камеры, содержащую указанные подложки. ! 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что на поверхностях подложек осаждают тонкую пленку пу�