{Включение гибкого или непрочного производства структур устройств mems для определенных заявлений, посмотрите соответствующие места, например, гироскопы g01c19/5719, датчики давления g01l9/0042, акселерометры g01p15/0802, акустические преобразователи или
Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
{Включение гибкого или непрочного производства структур устройств mems для определенных заявлений, посмотрите соответствующие места, например, гироскопы g01c19/5719, датчики давления g01l9/0042, акселерометры g01p15/0802, акустические преобразователи или