Емкостной преобразователь, полученный микрообработкой, и способ его изготовления - RU2014134810A

Реферат

1. Способ изготовления емкостного преобразователя (100), полученного микрообработкой, в частности, CMUT, причем способ содержит этапы, на которых:- осаждают первый электродный слой (10) на подложку (1),- осаждают первую диэлектрическую пленку (20) на первый электродный слой (10),- осаждают жертвенный слой (30) на первую диэлектрическую пленку (20), причем жертвенный слой (30) выполнен с возможностью удаления для формирования полости (35) преобразователя,- осаждают вторую диэлектрическую пленку (40) на жертвенный слой (30) и- осаждают второй электродный слой (50) на вторую диэлектрическую пленку (40),причем первая диэлектрическая пленка (20) и/или вторая диэлектрическая пленка (40) содержит первый слой, содержащий оксид, второй слой, содержащий материал с высокой k (диэлектрической проницаемостью), имеющий диэлектрическую проницаемость, равную 8 или более, и третий слой, содержащий оксид, причем второй слой располагается между первым и третьим слоями, и этапы осаждения осуществляются посредством атомно-слоевого осаждения.2. Способ по п. 1, в котором материалом с высокой k является оксид алюминия (AlO) и/или оксид гафния (HfO).3. Способ по п. 1, в котором второй слой содержит первый подслой, содержащий оксид алюминия, второй подслой, содержащий оксид гафния, и третий подслой, содержащий оксид алюминия.4. Способ по п. 1, дополнительно содержащий этап, на котором формируют рисунок в, по меньшей мере, одном из, в частности, большинстве или всех из осажденных слоев и пленок (10, 20, 30, 40, 50).5. Способ по п. 1, дополнительно содержащий этап, на котором осаждают диэлектрический слой (60), покрывающий осажденные слои и пленки (10, 20, 30, 40, 50).6. Способ по п. 1, дополнительно содержащий этап, на котором удаляют жертвенный слой (30) посредством обеспечения ямки (32) травления и т