Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
...
Публикация: 2007-04-10
Область техники, к которой относится изобретение Изобретение относится к микромеханическому компоненту на кремниевой основе, имеющему по меньшей мере...
Публикация: 2019-12-26
Публикация: 2017-12-26
Область техники, к которой относится изобретение Изобретение относится к микромеханическому компоненту, характеризующемуся уменьшенной поверхностью к...
Публикация: 2019-11-28
Область техники Данное изобретение относится к способу травления и к установке травления, которые могут найти применение в области формирования микр...
Публикация: 2008-08-27
