Микромеханический компонент, характеризующийся уменьшенной поверхностью контакта, и способ его изготовления - RU2016125427A
Код документа: RU2016125427A
Формула
1. Способ изготовления микромеханического компонента (51) на кремниевой основе, включающий следующие далее стадии:
a) обеспечение подложки (30) на кремниевой основе;
b) формирование маски (33), пронизанной отверстиями (35), на горизонтальной части подложки (30);
c) протравливание в травильной камере по существу вертикальных стенок (36) на части толщины подложки (30) от отверстий (35) маски (33) в целях получения периферийных стенок (56) микромеханического компонента (51);
d) формирование защитного слоя (42) на вертикальных стенках (36), оставляя при этом дно (38) области (39), представляющей собой результат травления, полученной на стадии с), без какого-либо защитного слоя;
e) протравливание в указанной травильной камере предварительно определенных наклонных стенок (37) на оставшейся толщине подложки (30) от дна (38), которое не имеет какого-либо защитного слоя, в целях получения наклонных нижних поверхностей (57) под периферийными стенками (56) микромеханического компонента;
f) освобождение микромеханического компонента (51) от маски (33) и от подложки (30).
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что стадию с) осуществляют в результате чередования потока травильного газа и потока пассивирующего газа в травильной камере в целях получения по существу вертикальных стенок (36).
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что стадия d) включает следующие далее фазы:
d1) окисление области (39), представляющей собой результат травления, полученной на стадии с), для получения защитного слоя (42) диоксида кремния;
d2) направленное травление защитного слоя (42) в целях селективного удаления только части защитного слоя (42) на дне (38) области (39), представляющей собой результат травления, полученной на стадии с).
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что стадию е) осуществляют в результате перемешивания травильного газа и пассивирующего газа в травильной камере в целях получения наклонных стенок (37).
5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что на стадии е) непрерывные потоки травильного и пассивирующего газов подают в режиме пульсации для улучшения травления на уровне дна области (39), представляющей собой результат травления.
6. Микромеханический компонент (51), полученный при использовании способа по п. 1, отличающийся тем, что он содержит тело (61) на кремниевой основе, периферийная стенка (54) которого включает первую по существу вертикальную поверхность (56) и вторую наклонную поверхность (57), что, тем самым, уменьшает поверхность контакта периферийной стенки (54).
7. Микромеханический компонент (51) по п. 6, отличающийся тем, что он дополнительно содержит по меньшей мере одно отверстие (60), имеющее внутреннюю стенку, также включающую первую по существу вертикальную поверхность (56) и вторую по существу наклонную поверхность (37).
8. Микромеханический компонент (51) по п. 6 или 7, отличающийся тем, что микромеханический компонент (51) образует весь элемент или часть элемента в движущихся или наружных деталях часов.
