Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Область техники, к которой относится изобретение Изобретение относится к микромеханическому компоненту на кремниевой основе, имеющему по меньшей мере...
Публикация: 2019-12-26
...
Публикация: 2017-12-26
Область техники, к которой относится изобретение Изобретение относится к композиционному микромеханическому компоненту, по меньшей мере одна поверхно...
Публикация: 2015-03-20
Публикация: 2011-12-20
Область техники, к которой относится изобретение Изобретение относится к микромеханическому компоненту, характеризующемуся уменьшенной поверхностью к...
Публикация: 2019-11-28
