Компонент на кремниевой основе, имеющий по меньшей мере одну фаску, и способ его изготовления - RU2016125516A
Код документа: RU2016125516A
Формула
1. Способ (11) изготовления микромеханического компонента (101, 111), полученного из материала на кремниевой основе, включающий следующие далее стадии:
a) обеспечение подложки (40) на кремниевой основе;
b) формирование маски (43), пронизанной отверстиями (45), на горизонтальной части подложки (40);
c) протравливание в травильной камере предварительно определенных наклонных стенок (46) на части толщины подложки (40) от отверстий (45) в маске (43) в целях формирования верхних фасочных поверхностей (106) микромеханического компонента (101, 111);
d) протравливание в указанной травильной камере по существу вертикальных стенок (47) на по меньшей мере части толщины подложки (40) от дна области (49), представляющей собой результат травления, полученной на стадии с), в целях получения периферийных стенок (105) микромеханического компонента (101, 111) под верхними фасочными поверхностями (106);
e) освобождение микромеханического компонента (101, 111) от подложки (40) и маски (43).
2. Способ (11) по п. 1, отличающийся тем, что стадию с) осуществляют в результате перемешивания травильного газа и пассивирующего газа в травильной камере в целях получения указанных предварительно определенных наклонных стенок (46).
3. Способ (11) по п. 2, отличающийся тем, что на стадии с) непрерывные потоки травильного и пассивирующего газов подают в режиме пульсации для улучшения пассивирования на уровне дна.
4. Способ (11) по п. 1, отличающийся тем, что стадию d) осуществляют в результате чередования потока травильного газа и потока пассивирующего газа в травильной камере в целях получения указанных по существу вертикальных стенок (47).
5. Способ (11) по п. 1, отличающийся тем, что между стадией d) и стадией е) способ дополнительно включает следующие далее стадии:
f) формирование защитного слоя (52) на указанных предварительно определенных наклонных стенках (46) и указанных по существу вертикальных стенках (47), оставляя при этом дно области (51), представляющей собой результат травления, полученной на стадии d), без какого-либо защитного слоя;
g) протравливание в указанной травильной камере вторых предварительно определенных наклонных стенок (48) на оставшейся толщине подложки (40) от дна области (51), представляющей собой результат травления, полученной на стадии d), без какого-либо защитного слоя в целях формирования нижних фасочных поверхностей (109) микромеханического компонента (101, 111).
6. Способ (11) по п. 5, отличающийся тем, что стадию g) осуществляют в результате перемешивания травильного газа и пассивирующего газа в травильной камере в целях получения указанных вторых предварительно определенных наклонных стенок (48).
7. Способ (11) по п. 6, отличающийся тем, что на стадии g) непрерывные потоки травильного и пассивирующего газов подают в режиме пульсации для улучшения травления на уровне дна.
8. Способ (11) по п. 5, отличающийся тем, что стадия f) включает следующие далее фазы:
f1) окисление указанных предварительно определенных наклонных стенок (46) и указанных по существу вертикальных стенок (47) для формирования защитного слоя (52) диоксида кремния;
f2) направленное травление указанного защитного слоя (52) диоксида кремния в целях селективного удаления только части защитного слоя (52) со дна области (51), представляющей собой результат травления, полученной на стадии d).
9. Способ (11) по п. 5, отличающийся тем, что перед стадией е) способ (11) дополнительно включает следующую далее стадию:
h) заполнение полости (53), созданной во время указанных травлений микромеханического компонента (101, 111), образованной верхней фасочной поверхностью (106), периферийной стенкой (105) и нижней фасочной поверхностью (109), металлом или металлическим сплавом в целях придания средства присоединения микромеханическому компоненту (101, 111).
10. Микромеханический компонент (101, 111), полученный при использовании способа по п. 1, отличающийся тем, что он содержит тело (103) на кремниевой основе, по существу вертикальная периферийная стенка (105) которого граничит с горизонтальной верхней поверхностью (104) через верхнюю фасочную поверхность (106).
11. Микромеханический компонент (101, 111) по п. 10, отличающийся тем, что указанная по существу вертикальная периферийная стенка (105) тела (103) также граничит с горизонтальной нижней поверхностью (108) через нижнюю фасочную поверхность (109).
12. Микромеханический компонент (101, 111) по п. 10, отличающийся тем, что он дополнительно содержит по меньшей мере одну полость (110), имеющую по существу вертикальную внутреннюю стенку, также содержащую промежуточные верхнюю и нижнюю фасочные поверхности между горизонтальными верхней и нижней поверхностями.
13. Микромеханический компонент (101, 111) по п. 12, отличающийся тем, что указанная по меньшей мере одна полость (110) по меньшей мере частично заполнена металлом или металлическим сплавом (112) для придания средства присоединения микромеханическому компоненту (101, 111).
14. Микромеханический компонент (101, 111) по любому из пп. 10-13, отличающийся тем, что микромеханический компонент (101, 111) образует весь элемент или часть элемента движущихся или наружных деталей часов.
