Композиционный микромеханический компонент и способ его изготовления - RU2010123368A

Реферат

1. Способ (1) изготовления композиционного микромеханического компонента (41, 41'), включающий следующие стадии: ! а) стадия (10) создания подложки (9, 9'), включающей горизонтальный верхний слой (21) и горизонтальный нижний слой (23), которые изготовлены из электропроводного микрообрабатываемого материала и крепятся друг к другу электроизоляционным горизонтальным промежуточным слоем (22); ! б) вытравливание в верхнем слое (21), по меньшей мере, одного рисунка (26) до промежуточного слоя (22) для формирования, по меньшей мере, одного углубления (25) в подложке (9, 9'), в которой будет формироваться, по меньшей мере, одна часть (21, 23) композиционного компонента, изготовленная из микрообрабатываемого материала; ! в) стадия (16) нанесения на верхнюю часть указанной подложки электроизоляционного покрытия (30); ! г) стадия (18) направленного травления указанного покрытия и указанного промежуточного слоя для того, чтобы покрытие присутствовало только на каждой вертикальной стенке (51, 52), сформированной в верхнем слое (21); ! д) стадия (5) выполнения электроосаждения при подсоединении электрода к электропроводному нижнему слою (23) подложки (9, 9'), чтобы сформировать, по меньшей мере, одну металлическую часть (33, 43, 43') композиционного компонента; ! е) отделение композиционного компонента (41, 41') от подложки (9, 9'). ! 2. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что после стадии г) на верхнем слое (21) подложки монтируют одну часть (27) компонента, чтобы сформировалась, по меньшей мере, одна выемка (28), которая соединяется с указанным, по меньшей мере, одним углублением, формируя второй уровень (45, 45') указанного компонента. ! 3. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что перед стадией д