Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Изобретение относится к способам химического нанесения покрытий путем разложения газообразных соединений, в частности к способам введения газов в реа...
Публикация: 2018-11-27
...
Публикация: 2018-08-02
Публикация: 2013-09-10
Область техники, к которой относится изобретение Изобретение относится к устройству для осаждения атомных слоев на поверхность подложки. Изобретение ...
Публикация: 2015-07-10
Публикация: 2012-07-10
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ Настоящее изобретение в общем относится к устройству и способу для реакторов осаждения. В частности, но не исключительно, изобретение...
Публикация: 2013-12-27
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в производстве эпитаксиал...
Публикация: 2015-04-20
Публикация: 2015-02-27
Публикация: 2017-06-30
Изобретение относится к области дозирования реагентов в поток газа-носителя с раздельной подачей реагентов в реакционную камеру, обеспечивающим получ...
Публикация: 2017-12-28