Способ создания легированных дельта-слоев в cvd алмазе - RU2015155911A

1. Способ создания легированных дельта-слоев в CVD алмазе, включающий формирование из исходных газов потока рабочей газовой смеси через реакционную камеру CVD реактора, содержащую подложку для осаждения CVD алмаза из плазмы, при этом вначале формируют стандартный состав рабочей газовой смеси Н₂+СН₄, необходимый для роста нелегированного CVD алмаза, после чего на время создания дельта-слоя переключают состав исходных газов и в рабочую газовую смесь вводят легирующую добавку, создавая тем самым поверх уже выращенного CVD алмаза легированный дельта-слой алмаза, отличающийся тем, что после выращивания легированного дельта-слоя алмаза снова переключают состав исходных газов и в течение времени, на порядок превышающего время легирования, формируют рабочую газовую смесь без содержания углерода и легирующей добавки, например чистый Н₂, а затем возобновляют состав рабочей газовой смеси с углеродом, например Н₂+СН₄, при этом поток рабочей газовой смеси через реакционную камеру CVD реактора поддерживают ламинарным и безвихревым, не создающим застойных зон.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве легирующей добавки используют бор.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве легирующей добавки используют азот.

4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве легирующей добавки используют фосфор.

5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что время выращивания легированного дельта-слоя алмаза превосходит время переключения более чем на порядок.

6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что на этапе роста нелегированного алмаза в рабочую газовую смесь добавляют вещество, являющееся геттером бора, например, серу.

7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что после роста легированного дельта-слоя алмаза в течение времени, на порядок превышающего время легирования, формируют рабочую газовую смесь без содержания углерода, но с содержанием геттера бора, например Н₂ с содержанием серы или кислорода, а затем опять формируют рабочую газовую смесь с углеродом, например Н₂+СН₄.

8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что после роста легированного дельта-слоя алмаза в течение времени, на порядок превышающего время легирования, формируют рабочую газовую смесь без содержания углерода, но с содержанием геттера бора, например H₂ с содержанием серы или кислорода, а затем опять формируют рабочую газовую смесь с углеродом и с содержанием геттера бора, например H₂+CH₄ с содержанием серы или кислорода.

9. Способ по п. 1, отличающийся тем, что количество дельта-слоев алмаза превышает единицу.