Микроструктурные устройства или системы, например микромеханические устройства (пьезоэлектрические, электрострикционные или магнитострикционные приборы как таковые •h 01l 41/00·) [7]
Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Микроструктурные устройства или системы, например микромеханические устройства (пьезоэлектрические, электрострикционные или магнитострикционные приборы как таковые •h 01l 41/00·) [7]