Микромеханический элемент - RU2012108958A

Реферат

1. Микромеханический узел, в особенности регулируемый оптический фильтр, содержащий первый приборный слой и второй слой подложки, по меньшей мере частично прикрепленные друг к другу, причем приборный слой содержит несколько подвижных отражающих элементов, распределенных между несколькими неподвижными отражающими элементами, и неподвижные элементы прикреплены к подложке через диэлектрический слой, при этом в подложке и каждом подвижном элементе ограничена полость, причем каждый подвижный элемент выполнен для обеспечения управляемого перемещения в полость, а некоторое число диэлектрических прокладок размещено в полостях между каждым подвижным элементом и подложкой, в которой выполнена полость, при этом прокладки изготовлены из того же самого материала, что и диэлектрический слой, прикрепляющий подложку к неподвижным элементам, причем прокладки размещены на подложке в указанных полостях, а полости выполнены в указанной подложке с использованием процесса травления.2. Микромеханический узел по п.1, в котором подвижные элементы и подложка присоединены к источнику напряжения для приложения напряжения между подвижными элементами и подложкой для создания между ними электростатической силы и, тем самым, для перемещения элемента относительно подложки.3. Микромеханический узел по п.1, в котором все дорожки от подложки отделяет диэлектрический слой, который имеет равномерную толщину и образует прокладки между подвижными дорожками и подложкой.4. Микромеханический узел по п.1, в котором прокладки имеют поверхность контакта с подвижными дорожками, которая охватывает значительно меньшую часть от общей площади д�