Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Предпосылки изобретения 1. Область изобретения [0001] Изобретение относится к агрегату и способу переноса радикалов, например, для удаления отложений...
Публикация: 2018-01-25
Область техники Изобретение относится к головке для обработки, системе для обработки и способу обработки локальной области поверхности подложки с исп...
Публикация: 2021-09-02
Изобретение относится к устройствам защиты рабочих элементов литографического оборудования от потоков пылевых частиц, в которых запыление элементов о...
Публикация: 2018-05-25
Данная заявка является частичным продолжением патентной заявки США N 08/045165, поданной 12 апреля 1993 г. (описание которой включено сюда посредст...
Публикация: 1999-11-27
Эта заявка претендует на приоритет по латентной заявке США с порядковым номером 08/045 165, поданной 12 апреля 1993 г., которая является заявкой с ч...
Публикация: 1999-09-10
...
Публикация: 1997-03-10
Изобретение относится к устройству для удаления нежелательных примесей с поверхности. В частности, изобретение относится к удалению нежелательных п...
Публикация: 1998-06-27
Область техники, к которой относится изобретение Настоящее изобретение относится к способам обработки подложек с помощью водосодержащей жидкой среды,...
Публикация: 2019-02-15
Настоящее изобретение относится к устройству для нанесения жидкой среды, подвергаемой ультрафиолетовому облучению, на подложку, чтобы обрабатывать по...
Публикация: 2015-10-27