Устройство для удаления загрязнений с поверхностей подложки, ориентированных в несовмещающихся плоскостях, при сохранении молекулярной кристаллической структуры обрабатываемых поверхностей подложки (варианты) и устройство для удаления загрязнений с поверх - RU94042468A
Код документа: RU94042468A
Реферат
Предлагается устройство для удаления нежелательных поверхностных примесей с плоской или имеющей нерегулярную форму поверхности подложки высокоэнергетическим излучением. Изобретение позволяет удалять нежелательные поверхностные примеси без изменения подложки, расположенной ниже молекулярной кристаллической структуры подложки. Источник высокоэнергетического излучения содержит импульсный или непрерывного действия лазер или высокоэнергетическую лампу.
