Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Изобретение относится к оптической проекционной системе, а более конкретно - к матрице тонкопленочных приводных зеркал размерностью M • N, в которо...
Публикация: 1999-12-27
...
Публикация: 2015-09-10
Область техники, к которой относится изобретение Изобретение относится к функциональному микромеханическому узлу, включающему в себя первую деталь, с...
Публикация: 2015-10-20
Публикация: 2017-12-14
Область техники, к которой относится изобретение Настоящее изобретение относится к способу изготовления микромеханической детали и, в частности, к та...
Публикация: 2019-03-19
Область техники, к которой относится изобретение Настоящее изобретение относится к микромеханическим компонентам из кремния с металлом и способу изго...
Публикация: 2013-02-10
Публикация: 2011-12-27
Область техники, к которой относится изобретение Изобретение относится к микромеханическому компоненту на кремниевой основе, имеющему по меньшей мере...
Публикация: 2019-12-26
Публикация: 2021-03-23
Область техники, к которой относится изобретение Данное изобретение относится к технической области электромеханических устройств, в частности, МЭМС ...
Публикация: 2021-11-01
