Составной микромеханический компонент из кремния с металлом и способ изготовления компонента - RU2010124426A

Реферат

1. Способ (1) изготовления составного микромеханического компонента (51, 51', 51'') из кремния и металла, включающий следующие этапы: ! a) подготовку (11) подложки (3), включающей верхний (5) и нижний (7) слои кремния, между которыми проходит промежуточный слой (9) оксида кремния, ! b) избирательное травление (13) по меньшей мере одной полости (37, 45, 45'') в верхнем слое (5) для ограничения рисунка кремниевой части (53, 53'') этого компонента; ! c) продолжение (15) травления этой по меньшей мере одной полости (37, 45, 45'') в промежуточном слое (9); ! отличающийся тем, что этот способ дополнительно включает следующие этапы: ! d) выращивание (17, 21, 23) металлического слоя (63) по меньшей мере от одного участка указанной по меньшей мере одной полости (37, 45, 45'') с целью создания металлической части (41, 41', 41'') в толще компонента для изоляции кремниевой части (53, 53'') микромеханического компонента от разрушающих механических напряжений; ! e) отделение (33) составного микромеханического компонента (51, 51', 51'') от подложки (3). ! 2. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что этап d) включает следующие этапы: ! - нанесение (17) слоя фоточувствительной полимерной смолы (57) на верхнюю поверхность подложки (3); ! - избирательное выполнение (21) фотолитографии в слое фоточувствительной полимерной смолы (57) для создания фотолитографского рисунка (71, 73, 75) в этой полимерной смоле в соответствии с заданной конфигурацией металлической части (39, 41); ! - гальваническое осаждение (23) металлического слоя, начиная от верхней электропроводной поверхности нижнего слоя (7), вертикальной по отношению к указанной по меньшей мере к одной полости (37, 45, 45''), путем выращивания, от нижней поверхности полости, слоя (63) меж