Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Изобретение относится к способам химического нанесения покрытий путем разложения газообразных соединений, в частности к способам введения газов в реа...
Публикация: 2018-11-27
...
Публикация: 2018-08-02
Настоящее изобретение относится к установке для вакуумной обработки с приспособлением для крепления изделия, причем приспособление для крепления изде...
Публикация: 2017-01-10
Публикация: 2015-10-27
Публикация: 2017-03-13
Полезная модель относится к области технологического оборудования для нанесения покрытий, а именно к вакуумному технологическому оборудованию, предна...
Публикация: 2019-09-09
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ Настоящее изобретение, в общем, относится к атомно-слоевому осаждению (ALD, от англ. Atomic Layer De...
Публикация: 2020-07-28
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в производстве эпитаксиал...
Публикация: 2015-04-20
Публикация: 2015-02-27
