Реактор для осаждения с плазменным источником - RU2013148924A

Реферат

1. Реактор осаждения, содержащий:подающее устройство, которое ограничивает расширительное пространство, предназначенное для проведения реагентов в виде нисходящего потока от плазменного источника по направлению к реакционной камере, причем расширительное пространство расширяется по направлению к реакционной камере; иподъемный механизм для загрузки по меньшей мере одной подложки в реакционную камеру с верхней стороны реакционной камеры, иреактор осаждения имеет конфигурацию, обеспечивающую осаждение материала в реакционной камере на по меньшей мере одну подложку посредством последовательных самонасыщающихся поверхностных реакций.2. Реактор осаждения по п.1, отличающийся тем, что подъемный механизм имеет конфигурацию, обеспечивающую изменение размеров подающего устройства.3. Реактор осаждения по п.1, отличающийся тем, что подающее устройство имеет сокращенную форму и расширенную форму, а подъемный механизм имеет конфигурацию, обеспечивающую сжатие или растяжение подающего устройства с переходом от расширенной формы к сокращенной форме, что обеспечивает возможность загрузки по меньшей мере одной подложки, когда подающее устройство находится в сокращенной форме.4. Реактор осаждения по п.1, отличающийся тем, что подающее устройство имеет конфигурацию, способную деформироваться в вертикальном направлении.5. Реактор осаждения по п.1, отличающийся тем, что подающее устройство содержит совокупность вкладываемых друг в друга составных частей или кольцеобразных элементов, которые могут перемещаться и входить друг в друга.6. Реактор осаждения по п.1, отличающийся тем, что подающее устройство состоит из двух