Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ Настоящее изобретение, в целом, относится к реакторам осаждения с плазменным источником. Более конкретно, но не исключительно, изобре...
Публикация: 2016-05-20
...
Публикация: 2015-05-20
Публикация: 2018-04-04