Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Область техники Данное изобретение относится к технологии трехмерных микроэлектромеханических систем (МЭМС от англ. «Micro Electro-Mechanical System»...
Публикация: 2008-09-20
...
Публикация: 2005-09-10
