{Воздействие без оригинальной маски, например, использование запрограммированного отклонения точечного источника, просматривая, таща с лучом света, используя обращенный легкий или корпускулярный источник g03f7/70 имеет приоритет}
Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
{Воздействие без оригинальной маски, например, использование запрограммированного отклонения точечного источника, просматривая, таща с лучом света, используя обращенный легкий или корпускулярный источник g03f7/70 имеет приоритет}