Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Изобретение относится к нанесению пленок на основе оксида кремния, в частности к ускоренному плазменному нанесению тонких пленок на основе оксида ...
Публикация: 1995-03-10
Область техники, к которой относится изобретение Настоящее изобретение относится к устройству плазмохимического осаждения из паровой фазы намоточного...
Публикация: 2009-10-27
...
Публикация: 2009-05-20
