Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
...
Публикация: 2009-10-20
Публикация: 2008-07-10
Данное изобретение относится к обеспечению металлоорганического пара для производства полупроводников. Для роста MOCVD металлоорганические соединения...
Публикация: 2010-03-20