Барботер для постоянной доставки пара твердого химиката - RU2006145280A

Реферат

1. Барботер для обеспечения испаренного соединения в процесс химического осаждения из паровой фазы, содержащий (а) сборную конструкцию барботера, имеющую ввод и вывод; (b) средство для обеспечения инертного газа-носителя к соединению, соединенное с вводом; (с) средство для удаления испаренного соединения и газа-носителя из сборной конструкции камеры и передачи соединения в процесс химического осаждения из паровой фазы, соединенное с выводом; и (d) средство температурного контроля, в котором размещена сборная конструкция камеры барботера и которое вызывает испарение указанного соединения в газ-носитель; при этом сборная конструкция камеры барботера содержит две или более камер, соединенных в ряд с потоком испаренного соединения и газа-носителя, меняющимся между потоком вверх и потоком вниз между примыкающими камерами в указанном ряду, причем все камеры находятся по существу в вертикальной ориентации, в которой камера или камеры содержат твердый источник указанного соединения, при этом отношение между длиной камеры или объединенной длиной камер, соединенных в ряд, по отношению к направлению потока газа-носителя через камеру или камеры и средним диаметром, эквивалентным поперечному разрезу камеры или камер по отношению к направлению потока газа-носителя через камеру или камеры составляет не менее чем приблизительно 6:1.2. Барботер по п.1, в котором общая длина камер является достаточной для насыщения или состояния близкого к насыщению газа-носителя соединением по выводу сборной конструкции камеры барботера до расходования большей части указанного соединения.3. Барботер по п.1 или 2, в котором камеры в сборной к�