Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ Предметом настоящего изобретения являются способ получения трихлорсилана посредством предпочтительно каталитической реакции частиц кр...
Публикация: 2015-04-10
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ Настоящее изобретение относится к многоэтапному способу получения высокочистого кремния и к системе, в которой может быть осуществлен...
Публикация: 2014-01-10
...
Публикация: 2012-05-10
Предлагаемое изобретение относится к способам получения высокочистого трихлорсилана, применяемого в качестве источника кремния в технологиях микроэле...
Публикация: 2012-01-20
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ Настоящее изобретение относится к способу получения трихлорсилана путем взаимодействия кремния с газ...
Публикация: 2014-09-27
Публикация: 2013-09-10
Публикация: 2014-09-20
