Способ и система для получения чистого кремния - RU2010142993A

Реферат

1. Способ получения высокочистого кремния, включающий этапы: ! (1) получения трихлорсилана, ! (2) получения моносилана посредством диспропорционирования трихлорсилана, полученного на этапе (1), в результате чего получают моносилансодержащую реакционную смесь, которая в качестве побочного продукта содержит тетрахлорид кремния, и ! (3) термического разложения полученного таким образом моносилана на кремний и водород, ! отличающийся тем, что ! для получения трихлорсилана на этапе (1) в по меньшей мере одном процессе гидрохлорирования кремний реагирует с хлористым водородом, и параллельно этому в по меньшей мере одном процессе конверсии на этапе (2) тетрахлорид кремния, образующийся в качестве побочного продукта, взаимодействует с кремнием и водородом с образованием реакционной смеси, также содержащей трихлорсилан. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что этап (1) включает по меньшей мере один процесс очистки, в котором обрабатывают трихлорсилансодержащую реакционную смесь из по меньшей мере одного процесса гидрохлорирования и/или из по меньшей мере одного процессе конверсии, в частности - освобождают от твердых побочных продуктов. ! 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что по меньшей мере один процесс очистки включает по меньшей мере одну стадию сухой очистки и/или по меньшей мере одну стадию мокрой очистки. ! 4. Способ по п.2 или 3, отличающийся тем, что очищенные реакционные смеси из по меньшей мере одного процесса гидрохлорирования и по меньшей мере одного процесса конверсии смешивают и перемещают в по меньшей мере один общий сборный резервуар. ! 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что соотношение составных компонентов см�