Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Область техники, к которой относится изобретение Настоящее изобретение относится к способу производства гранулированного поликристаллического кремния...
Публикация: 2010-08-27
Настоящее изобретение относится к способу и установке для разложения моносилана с целью получения высокочистого кремния. Высокочистый кремний, как пр...
Публикация: 2019-05-22
Изобретение относится к полупроводниковой технике, более конкретно к области формирования гетероэпитаксиальных слоев (ГЭС) монокристаллического кремн...
Публикация: 2018-03-01
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ Настоящее изобретение относится к многоэтапному способу получения высокочистого кремния и к системе, в которой может быть осуществлен...
Публикация: 2014-01-10
Настоящее изобретение относится к способу получения кремния высокой степени чистоты путем термического разложения кремниевых соединений в газовой фаз...
Публикация: 2009-09-27
Ссылка на родственные заявки Данная заявка претендует на приоритет по дате подачи заявки США №12/265,038, поданной 5 ноября 2008 года в соответствии ...
Публикация: 2014-06-10
Изобретение относится к нанотехнологии, а именно к способам получения химических соединений кремния термическим разложением газообразной смеси прекур...
Публикация: 2017-01-30
Область техники, к которой относится изобретение Изобретение относится к устройствам импульсного сжатия газовых смесей для инициирования в них химиче...
Публикация: 2019-11-12
Изобретение относится к термическому разложению летучих соединений, более конкретно к устройству и способу термического разложения летучих соединений...
Публикация: 2009-12-27
Область техники Данное изобретение относится к реактору высокого давления с псевдоожиженным слоем для получения гранулированного поликристаллического...