Устройство и способ комбинаторного распределения газа через многозональную головную часть, выполненную наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки - RU2013149047A

Реферат

1. Камера для обработки, содержащая:опору для подложки имногозонную головную часть, выполненную наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки и содержащую подкладочную пластину и множество узлов,причем каждый узел из указанного множества узлов содержит пак головной части и монтажный каркас, соединяющий этот пак головной части с подкладочной пластиной.2. Камера для обработки по п.1, в которойобласть, заключенная в каждый пак указанной головной части, изолирована от областей, заключенных в другие паки этой головной части, посредством очистительного канала, разделяющего смежные паки такой головной части.3. Камера для обработки по п.1, в которойодин из указанных паков головной части имеет характеристики, отличные от характеристик по меньшей мере одного пака из указанных других паков головной части.4. Камера для обработки по п.3, в которойхарактеристиками являются один или большее количество следующих элементов: количество каналов, размер каналов, распределение каналов или толщина паков головной части, выполненной наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки.5. Камера для обработки по п.1, в которой количество паков головной части составляет одно значение из 2, 3, 4, 5, 6, 7 или 8.6. Система для осаждения из паровой фазы, содержащая:одну или большее количество камер для обработки,причем по меньшей мере одна камера для обработки содержит многозонную головную часть, выполненную наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки и содержащую подкладочную пластину и множество узлов,причем каждый узел содержит пак головной части и монтажный каркас, соединяющий этот пак головной части с подкладочной пластино�