Металлизация основы (основ) способом осаждения изпарожидкостной фазы - RU2006113115A

Реферат

1. Способ регулирования металлизации путем процесса осаждения, включающий

транспортировку металлсодержащего предшественника в транспортной среде через камеру к основе, причем температура в транспортном объеме меньше температуры разложения металлсодержащего предшественника;

осаждение металлического слоя на основу путем разложения основы металлсодержащего предшественника, причем температура у основы больше температуры разложения металлсодержащего предшественника;

причем температуру основы и температуру металлсодержащего предшественника в транспортном объеме измеряют напрямую;

и скорость осаждения и качество указанного металлического слоя на указанной основе регулируются путем регулирования указанной температуры основы, температуры металлсодержащего предшественника в транспортном объеме и путем сохранения условий насыщения для указанного предшественника в указанном транспортном объеме.

2. Способ по п.1, включающий, кроме того, измерение количества реакционного газа; недопущение входа металлсодержащего предшественника в транспортный объем после того, как будет измерено заранее установленное количество реакционного газа.

3. Способ по п.1 или 2, включающий, кроме того, измерение периода времени, в течение которого металлический слой осаждается на основе, причем металлический слой осаждается по меньшей мере одну минуту; недопущение поступления металлсодержащего предшественника в транспортный объем после заранее установленного периода времени; охлаждение основы после прекращения ввода металлсодержащего предшественника.

4. Способ по п.3, включающий, кроме того, определение периода активного осаждения; измерение разности температур между основой и транспортной средой в транспортном объеме; сохранение разности температур в течение периода активного осаждения.

5. Способ по п.4, в котором разность температур составляет по меньшей мере один градус.

6. Способ по п.1, в котором транспортная среда является паром или мелкокапельным спреем.

7. Способ по п.1, в котором транспортная среда по существу насыщена металлсодержащим предшественником.

8. Способ по п.1, причем температура основы регулируется источником индукционного нагрева.

9. Способ по п.1, причем температура металлсодержащего предшественника регулируется пульсацией мощности источника индукционного нагрева, изменением концентрации металлсодержащего предшественника в транспортной среде, или комбинацией переменных, состоящих их пульсации мощности источника индукционного нагрева, изменения скорости потока инертного газа в транспортной среде, изменения скорости потока инертного газа в транспортном объеме и изменения концентрации предшественника в транспортной среде.

10. Способ по п.1, причем транспортная среда или объем содержит инертный газ, и причем температура металлсодержащего предшественника регулируется изменением скорости потока инертного газа в транспортной среде или объеме.

11. Способ по п.1, причем температура металлсодержащего предшественника в транспортном объеме регулируется с точностью ±10°С.

12. Способ по п.1, причем указанный процесс осаждения останавливают, когда на указанной основе осадится желаемое количество металла, что определяют динамическим измерением скорости побочного газа, образованного при разложении указанного предшественника.

13. Способ по п.1, причем указанная камера вращается в ходе осаждения указанного металлического слоя.

14. Способ по п.1, в котором металлсодержащий предшественник является алюминийсодержащим предшественником, предпочтительно содержит алюминийорганическое соединение.

15. Способ по п.1, в котором основа содержит металл.

16. Способ по п.1, причем алюминиевый слой осажден на основу, основа нагрета источником индуктивной энергии, и алюминийсодержащий предшественник транспортируется в паре, содержащем жидкость.

17. Однородно покрытая основа, включающая основу; металлическое покрытие, осажденное на основе, причем металлическое покрытие по существу не содержит частичек металлической пыли, и причем металлическое покрытие является коррозионностойким, так что покрытие может выдерживать по меньшей мере 24 ч до красной коррозии, как определено по стандарту ASTM В-117; металлическое покрытие, связанное с основой в результате химической реакции между соединением-предшественником, удерживаемым ниже температуры разложения, и основой, удерживаемой выше температуры разложения, причем металлическое покрытие по существу чистое.

18. Однородно покрытая основа по п.17, причем основа содержит металл.

19. Основа по п.17, причем металлическое покрытие содержит алюминий.

20. Продукт, полученный способом по любому из пп.1-16.