Прибор с электродом, подключенным к сквозному проводу, и способ его изготовления - RU2015132850A

1. Емкостный преобразователь, содержащий:

подложку, имеющую первую поверхность и вторую поверхность, противоположную первой поверхности, причем подложка включает в себя сквозной провод, простирающийся через нее между упомянутой первой поверхностью и упомянутой второй поверхностью; и

ячейку на упомянутой первой поверхности, причем ячейка включает в себя первый электрод и второй электрод, разнесенный от первого электрода, с зазором между первым электродом и вторым электродом,

причем поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой первой поверхности подложки расположена проводящая защитная пленка, и поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой второй поверхности подложки расположена проводящая защитная пленка.

2. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором каждая из упомянутых проводящих защитных пленок содержит многослойную пленку, имеющую два или более слоев.

3. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором упомянутые поверхности сквозного провода утоплены относительно первой поверхности и второй поверхности подложки.

4. Емкостный преобразователь по п. 1, дополнительно содержащий контактную площадку, выполненную с возможностью электрического подключения к сквозному проводу через любую из проводящих защитных пленок.

5. Емкостный преобразователь по п. 1, дополнительно содержащий провод, выполненный с возможностью электрического подключения к сквозному проводу через любую из проводящих защитных пленок.

6. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором каждая из проводящих защитных пленок включает в себя пленку Au, образованную на ее самой наружной поверхности.

7. Емкостный преобразователь по п. 6, в котором каждая из проводящих защитных пленок включает в себя пленку Ni и пленку Au и имеет пленку Au, образованную на ее самой наружной поверхности.

8. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором сквозной провод выполнен из Cu или сплава Cu.

9. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором сквозной провод электрически подключен к упомянутому первому электроду или упомянутому второму электроду.

10. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором проводящие защитные пленки образованы исключительно на поверхностях сквозного провода.

11. Прибор, содержащий:

подложку, имеющую первую поверхность и вторую поверхность, противоположную первой поверхности, причем подложка включает в себя сквозной провод, простирающийся через нее между упомянутой первой поверхностью и упомянутой второй поверхностью; и

электрод, электрически подключенный к сквозному проводу,

причем поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой первой поверхности подложки расположена проводящая защитная пленка, и поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой второй поверхности подложки расположена проводящая защитная пленка.

12. Способ изготовления емкостного преобразователя, включающего в себя подложку, имеющую первую поверхность и вторую поверхность, противоположную первой поверхности, причем подложка включает в себя сквозной провод, простирающийся через нее между упомянутой первой поверхностью и упомянутой второй поверхностью, и ячейку на первой поверхности, причем ячейка включает в себя первый электрод и второй электрод, разнесенный от первого электрода, с зазором между первым электродом и вторым электродом, при этом способ содержит:

образование проводящей защитной пленки поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой первой поверхности подложки и проводящей защитной пленки поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой второй поверхности подложки; и

образование ячейки на первой поверхности подложки, причем ячейка включает в себя первый электрод и второй электрод, разнесенный от первого электрода, с зазором между первым

электродом и вторым электродом.

13. Способ по п. 12, дополнительно содержащий образование сквозного провода в подложке.

14. Способ по п. 12, в котором проводящие защитные пленки образуют исключительно на поверхностях сквозного провода.

15. Способ по п. 12, в котором проводящие защитные пленки образуют с использованием металлизации химическим восстановлением.

16. Способ по п. 12, в котором проводящие защитные пленки образуют с использованием металлизации химическим восстановлением, а затем подвергают выравниванию поверхности.

17. Устройство получения информации об объекте, содержащее:

емкостный преобразователь по п. 1; и

секцию обработки, выполненную с возможностью получения информации об объекте с использованием электрического сигнала, выведенного из емкостного преобразователя, и обработки упомянутой информации,

причем емкостный преобразователь выполнен с возможностью приема акустической волны от упомянутого объекта и вывода упомянутого электрического сигнала.

18. Устройство получения информации об объекте по п. 17, дополнительно содержащее источник света,

причем емкостный преобразователь выполнен с возможностью приема акустической волны, сгенерированной при облучении упомянутого объекта светом, сгенерированным из упомянутого источника света, и преобразования принятой акустической волны в электрический сигнал.

19. Измерительное устройство, содержащее:

емкостный преобразователь по п. 1, подвергающийся воздействию внешней силы,

причем измерительное устройство выполнено с возможностью измерения величины внешней силы, приложенной к поверхности упомянутого емкостного преобразователя, с использованием электрического сигнала от упомянутого емкостного преобразователя.