Реактор высокого давления с псевдоожиженным слоем для получения гранулированного поликристаллического кремния - RU2008132506A

Реферат

1. Реактор высокого давления с псевдоожиженным слоем для получения гранулированного поликристаллического кремния, содержащий: ! (a) трубу реактора; ! (b) оболочку реактора, окружающую трубу реактора; ! (c) внутреннюю зону, образованную внутри трубы реактора, и внешнюю зону, образованную между оболочкой реактора и трубой реактора, при этом образуется слой частиц кремния во внутренней зоне, в то время как слой частиц кремния не образуется и осаждение кремния не происходит во внешней зоне; ! (d) впускное средство для введения газов в слой частиц кремния; ! (e) выпускное средство, содержащее выпускное средство для частиц кремния и выпускное средство для газа для выхода соответственно частиц поликристаллического кремния и отходящих газов из слоя частиц кремния; ! (f) соединительное средство для инертного газа для поддержания, по существу, атмосферы инертного газа во внешней зоне; ! (g) средство управления давлением для измерения и/или управления давлением (Pi) во внутренней зоне или давлением (Po) во внешней зоне и ! (h) средство управления разностью давлений для поддержания величины |Po-Pi| в пределах интервала от 0 до 1 бар. ! 2. Реактор по п.1, в котором впускное средство содержит впускное средство для псевдоожижающего газа, которое вводит псевдоожижающий газ в слой частиц кремния, и впускное средство для газообразного реагента, которое вводит газообразный реагент, содержащий атомы кремния, в слой частиц кремния. ! 3. Реактор по п.1, в котором выпускное средство содержит выпускное средство для частиц кремния, которое выводит частицы поликристаллического кремния, образованные во внутренней зоне, из реактора с псевдоожиженным слоем, и вып�