Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
...
Публикация: 2012-12-10
Публикация: 2010-09-27
Область изобретения Данное изобретение относится к реакторам пониженного давления для эпитаксиального выращивания гидридов в паровой фазе (ЭВГПФ), ко...
Публикация: 2013-06-10
Публикация: 2012-01-20
