Высокомолекулярные соединения, разлагающиеся под действием света, например позитивные электронные резисты (•7/075· имеет преимущество; полихинондиазиды •7/023·) [5]
Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Высокомолекулярные соединения, разлагающиеся под действием света, например позитивные электронные резисты (•7/075· имеет преимущество; полихинондиазиды •7/023·) [5]