Ищите и читайте полные тексты патентов со всего мира
Предлагаемое изобретение относится к способам получения высокочистого трихлорсилана, применяемого в качестве источника кремния в технологиях микроэле...
Публикация: 2012-01-20
...
Публикация: 2010-04-27
Перекрестная ссылка на родственные заявки По данной заявке испрашивается приоритет на основании заявки на патент Японии №2007-277787, поданной 25 окт...
Публикация: 2012-11-20
