Микроструктурная мембрана и способ ее изготовления - RU94019986A

Реферат

В микроструктурной мембране, включающей лист с двумя поверхностями, матрицу с отверстиями, проходящими с одной из поверхностей вглубь листа, каждое отверстие матрицы на поверхности окружено плоской зоной, а средний характеристический размер составляет 0,1-5000 мкм, при этом разброс размеров отверстий менее 10%, а продольные их оси параллельны одна другой. Площадь отверстий и пространственное распределение отверстий матрицы являются в целом однородными на одной из поверхностей, а лист выполнен из стекла, керамики, металла, полимера или комбинации этих материалов. Способ изготовления мембраны включает формирование маски и матрицы с отверстиями на ней, при этом маску размещают в непосредственной близости или в контакте с одной из поверхностей листа формируемой нембраны, а формирование отверстий производят одновременно по всей площади путем направленного воздействия на маску коллимированного потока реактивных ионов или энергетического луча. Маску формируют в непосредственном контакте с листом изготовляемой мембраны, на одной из поверхностей листа величина поверхностной пористости составляет по крайней мере 40%. 25 з.п. ф-лы, 6 ил.