Способ обновления многослойной структуры - RU2012139249A

Реферат

1. Неразрушающий способ обновления защитного слоя, нанесенного на подложку, включающий стадиюэлектрохимического восстановления слоя термически выращенного оксида, распложенного поверх подложки и защитного слоя, при электрохимических условиях, достаточных для того, чтобы свести к минимуму или устранить слой термически выращенного оксида.2. Способ по п.1, в котором стадию электрохимического восстановления проводят путем приложения к слою термически выращенного оксида внешнего напряжения в диапазоне от приблизительно 0,5 В до приблизительно 20 В.3. Способ по п.1, в котором стадия электрохимического восстановления дополнительно включает стадию нагревания защитного слоя и подложки в температурных условиях, достаточных для того, чтобы вызвать диффузию ионов оксида из слоя термически выращенного оксида в защитный слой.4. Способ по п.1, включающий присоединение первого электрода к электропроводному материалу, нанесенному на защитный слой, для обеспечения электрохимического соединения.5. Способ по п.1, включающий присоединение второго электрода к другой поверхности подложки для обеспечения электрохимического соединения.6. Способ по п.1, в котором толщину слоя термически выращенного оксида уменьшают на приблизительно 20-100% от исходной толщины слоя перед электрохимическим восстановлением.7. Способ по п.1, дополнительно включающий измерение электрического импеданса между первым электродом и вторым электродом с использованием измерительного устройства, электрически присоединенного к первому электроду и второму электроду; причем измерение импеданса обеспечивает измерение толщины слоя термически выращенного окси