Очистка потока газа - RU2011109002A

Реферат

1. Способ удаления, по меньшей мере, одной газообразной примеси из поступающего потока газа, каковая газообразная примесь обладает меньшей летучестью, чем поступающий поток газа, каковой способ включает абсорбирование указанной газообразной примеси переохлажденным жидким абсорбентом при первой криогенной температуре и первом давлении и получение, тем самым, очищенного потока газа. ! 2. Способ по п.1, в котором абсорбент переохлажден до температуры, при которой давление его паров меньше 1 мм рт.ст. ! 3. Способ по п.1 или 2, в котором указанная газообразная примесь представляет собой гидрид. ! 4. Способ по п.3, в котором указанная газообразная примесь представляет собой силан. ! 5. Способ по п.4, в котором указанная газообразная примесь дополнительно содержит боран (B2H6) или фосфин или и то, и другое. ! 6. Способ по любому одному из пп.1, 2, 4 или 5, в котором поступающий поток газа содержит азот и водород. ! 7. Способ по любому одному из пп.1, 2, 4 или 5, в котором абсорбент представляет собой пропан. ! 8. Способ по п.7, в котором первая криогенная температура лежит в диапазоне от минус 155°С до минус 170°С. ! 9. Способ по любому одному из пп.1, 2, 4, 5 или 8, в котором абсорбент регенерируют путем его нагревания до второй криогенной температуры, которая выше первой криогенной температуры. ! 10. Способ по п.9, в котором абсорбент регенерируют при втором давлении, меньшем, чем первое давление. ! 11. Способ по п.9, в котором абсорбент регенерируют при втором давлении, равном первому давлению, путем пропускания потока отдувочного газа через абсорбент, содержащий абсорбированные примеси. ! 12. Способ по п.11, в котором отдувочный газ содержит азот или водород. ! 13.