Очистка материалов обработкой плазмой на основе водорода - RU2007146762A

Реферат

1. Способ очистки для удаления кислорода из материала, характеризующийся тем, что содержащий примеси кислорода материал подвергают обработке плазмой на основе водорода. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что кислород удаляют в присутствии кислородного газопоглотителя. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют титан в качестве кислородного газопоглотителя. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что предназначенный для очистки материал является термоустойчивым. ! 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что материал выбирают из числа химических элементов-неметаллов или металлов. ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что кислород удаляют из бора, в частности из аморфного бора. ! 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что предназначенный для очистки материал содержит примеси кислорода в количестве ≥ 1 мас.%, в частности > 4 мас.%, предпочтительно ≥ 10 мас.% от общей массы материала. ! 8. Способ по п.1, отличающийся тем, что примеси кислорода присутствуют в виде оксидов. ! 9. Способ по п.1, отличающийся тем, что материал очищают до содержания кислорода ≤ 0,5 мас.%, в частности ≤ 0,1 мас.%, предпочтительно ≤ 0,05 мас.% от общей массы материала. ! 10. Способ по п.1, отличающийся тем, что плазма на основе водорода содержит ≥ 5 об.%, в частности, ≥ 90 об.%, предпочтительно ≥ 99 об.% Н2. ! 11. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют плазму на основе водорода, состоящую из Н2 и, необязательно, инертного газа, такого как аргон или азот. ! 12. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание кислорода в плазме на основе водорода составляет ≤ 10 млн-1. ! 13. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание воды в плазме на основе водорода составляет ≤ 10 млн-1. ! 14. Способ по п.1, отлича�