Способ получения поликристаллического кремния - RU2008146933A

Реферат

1. Способ получения поликристаллического кремния, в котором нагревают множество кремниевых стержней-затравок, помещенных в реакционную печь, а поликристаллический кремний осаждают на поверхностях кремниевых стержней-затравок с помощью сырьевого газа, испускаемого из газовыпускных отверстий, расположенных во внутренней нижней части реакционной печи, причем способ включает ! этап стабилизации осадка, на котором скорость испускания сырьевого газа из газовыпускных отверстий плавно повышают на первой стадии осаждения поликристаллического кремния; ! этап придания формы, на котором первую скорость испускания повышают при скорости повышения, более высокой, чем скорость повышения на этапе стабилизации, а затем скорость испускания плавно повышают при скорости, более низкой, чем скорость повышения; и ! этап роста, на котором, после этапа придания формы, скорость испускания делают более медленной, чем скорость в конце этапа придания формы. ! 2. Способ по п.1, в котором длительность, требуемая для этапа придания формы, соответствует 20-35% от общей продолжительности осаждения поликристаллического кремния. ! 3. Способ по п.1, в котором множество газовыпускных отверстий ответвлены от газоподающей трубы, а на этапе придания формы, скорость испускания из части газовыпускных отверстий повышают путем закрытия другого множества газовыпускных отверстий. ! 4. Способ по п.3, в котором на этапе придания формы 30-55% газовыпускных отверстий закрыто. ! 5. Способ по п.3, в котором на этапе роста скорость испускания сырьевого газа снижается за счет уменьшения количества закрытых газовыпускных отверстий, по сравнению с этапом придания форм