Способ и установка для очистки трихлорсилана и тетрахлорида кремния - RU2007122758A

Реферат

1. Способ очистки трихлорсилана и/или тетрахлорида кремния, содержащий следующие этапы обработки технического трихлорсилана и/или технического тетрахлорида кремния:образование комплексов примесей бора (трихлорида BCl) и других металлических примесей добавлением дифенилтиокарбазона и/или трифенилхлорметана с образованием комплексных соединений с макромолекулами, обладающих высокой температурой кипения,первую ректификацию в колонне продуктов, полученных на этапе образования комплексов, при которой комплексные примеси бора вместе с другими металлическими примесями удаляют в качестве кубового продукта, ивторую ректификацию в колонне головного продукта от предшествующей ректификации, при которой получают трихлорсилан (плюс возможно присутствующий дихлорсилан) и/или тетрахлорид кремния для электронной промышленности в виде головного продукта, а хлориды фосфора PClи фосфорсодержащие соединения, хлориды мышьяка AsClи мышьяксодержащие соединения, соединения алюминия, соединения сурьмы и в основном все присутствующие соединения металлов и металлоидов и углеродсодержащие силановые соединения, содержащие некоторое остаточное количество трихлорсилана и/или тетрахлорида кремния, получают в виде кубового остатка.2. Способ очистки по п.1, отличающийся тем, что он содержит также дополнительный этап ректификации кубового остатка от указанной второй ректификации, посредством которого получают тетрахлорид кремния, не содержащий трихлорсилана и/или дихлорсилана, в виде головного продукта, а хлориды фосфора PClи фосфорсодержащие компоненты, хлориды мышьяка AsClи мышьяксодержащие соединения, соединения алюминия, �