Способы уменьшения осаждения кремния на стенках реактора с использованием тетрахлорида кремния на периферии - RU2012132435A

Реферат

1. Способ производства поликристаллического кремниевого продукта в реакторе, включающем реакционную камеру, имеющую, по меньшей мере, одну стенку реакционной камеры, где способ включает:направление тетрагалогенида кремния на стенку реакционной камеры и направление термически разлагаемого соединения кремния внутрь тетрагалогенида кремния, где термически разлагаемое соединение вступает в контакт с частицами кремния, заставляя кремний осаждаться на частицы кремния и увеличивать их размер.2. Способ по п. 1, в котором реактор включает распределитель для равномерного распределения газа в реакционной камере, где распределитель включает множество распределительных отверстий, которые обеспечивают гидравлическое соединение между одним или несколькими источниками газа и реакционной камерой, множество распределительных отверстий включающих, по меньшей мере, одно периферическое отверстие и, по меньшей мере, одно внутреннее отверстие, где способ включает:направление тетрагалогенида кремния и термически разлагаемого соединения кремния из одного или более источников газа через распределительные отверстия распределителя и в реакционную камеру, где концентрация тетрагалогенида кремния, направляемого через периферические отверстия, превышает концентрацию тетрагалогенида кремния в потоке газа через внутренние отверстия, чтобы уменьшать количество кремния, осажденного на стенке реактора.3. Способ по п. 1, в котором термически разлагаемое соединение кремния представляет собой тригалогенсилан.4. Способ по п. 3, в котором тригалогенсилан выбран из группы, которую составляют трихлорсилан, трибромсилан, трифторсил�