Технологическое устройство для осаждения материала и электрод для использования в таком устройстве - RU2012114734A

Реферат

1. Технологическое устройство для осаждения материала на подложку, имеющую первый конец и второй конец, отстоящие друг от друга, с захватными частями, расположенными на каждом конце подложки, содержащее:корпус, имеющий камеру;вход, выполненный в корпусе для введения газа в камеру;выход, выполненный в корпусе для выведения газа из камеры;по меньшей мере, один электрод, имеющий наружную поверхность, включающую контактную зону для контакта с захватной частью, причем электрод проходит сквозь указанный корпус и, по меньшей мере, частично расположен в камере для соединения с захватной частью;источник питания, соединенный с электродом для подачи на него электрического тока; ипокрытие контактной зоны, нанесенное на контактную зону электрода для поддержания электрической проводимости между электродом и захватной частью, причем указанное покрытие контактной зоны имеет удельную электропроводность, равную, по меньшей мере, 7·10Сименс/метр при комнатной температуре, и более высокую износостойкость, чем никель, измеряемую в мм/Н·м.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что электрод изготовлен из металла основы, причем покрытие контактной зоны нанесено непосредственно на металл основы электрода.3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что металл основы выбран из группы, включающей медь, серебро, никель, инконель®, золото и их сочетания.4. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что покрытие контактной зоны имеет износостойкость, равную, по меньшей мере, 6·10мм/Н·м по методике ASTM G99-5.5. Устройство по одному из пп.1-3, отличающееся тем, что покрытие контактной зоны включает титансодержащее соединение, имеюще