Устройство для химического осаждения из газовой фазы, содержащее электрод - RU2012114735A

Реферат

1. Устройство для осаждения материала на подложку, имеющую первый конец и второй конец, отстоящие друг от друга, с захватными частями, расположенными на каждом конце подложки, содержащее:корпус, имеющий камеру;вход, выполненный в корпусе для введения газа в камеру;выход, выполненный в корпусе для выведения газа из камеры;по меньшей мере, один электрод, имеющий наружную поверхность и проходящий сквозь корпус, причем электрод, по меньшей мере, частично расположен в камере для соединения с захватной частью;источник питания, соединенный с электродом для подачи на него электрического тока;первое наружное покрытие, нанесенное на наружную поверхность электрода и имеющее удельную электропроводность, равную, по меньшей мере, 7·10Сименс/метр при комнатной температуре; ивторое наружное покрытие, отличающееся от первого наружного покрытия и нанесенное на первое наружное покрытие.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первое наружное покрытие включает металл, выбранный из группы, включающей никель, золото, платину, палладий, серебро, хром, титан и их сочетания.3. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что второе наружное покрытие имеет более высокую износостойкость, чем первое наружное покрытие, измеряемую в мм/Н*м по методике ASTM G99-5.4. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что наружная поверхность имеет контактную зону для контакта с захватной частью, причем первое наружное покрытие нанесено на контактную зону электрода, а второе наружное покрытие нанесено на первое наружное покрытие в указанной контактной зоне.5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что второе наружное покрытие, нанесенное на первое наружное покрытие