Способы получения стержней поликристаллического кремния высокой степени чистоты с использованием металлического средства-основы - RU2008130520A

Реферат

1. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы, содержащий этапы, на которых ! устанавливают средство-основу во внутреннее пространство реактора осаждения, используемого для получения кремниевого стержня, при этом образуют средство-основу, формируя один или множество разделительных слоев на поверхности металлического элемента основы, и соединяют средство-основу с электродным средством; ! нагревают средство-основу, подводя электрическую энергию через электродное средство; ! и подают реакционный газ во внутреннее пространство для осаждения кремния, в результате чего формируется продукт осаждения в направлении наружу на поверхности средства-основы. ! 2. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.1, в котором реакционный газ содержит по меньшей мере один кремнийсодержащий компонент, выбранный из группы, состоящей из моносилана (SiH4), дихлорсилана (SiH2Cl2), трихлорсилана (SiHCl3), тетрахлорида кремния (SiCl4) и смеси из них. ! 3. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.2, в котором реакционный газ дополнительно содержит по меньшей мере один газовый компонент, выбранный из группы, состоящей из водорода, азота, аргона, гелия, хлористого водорода и смеси из них. ! 4. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.1, в котором осаждение кремния происходит во внутреннем пространстве при абсолютном давлении реакции в диапазоне 1-20 бар и температуре реакции в диапазоне 650-1300°С, исхо