Системы и способы распределения газа в реакторе для химического осаждения из паровой фазы - RU2010143559A

Реферат

1. Реакторная система, включающая: ! реакционную камеру, включающую по меньшей мере одну опорную плиту, закрепленную в реакционной камере, и кожух, функционально соединенный с опорной плитой; ! по меньшей мере один накальный элемент, прикрепленный к опорной плите; ! источник электрического тока для подведения тока по меньшей мере к одному накальному элементу; ! источник газа, функционально связанный с реакционной камерой для создания газового потока через реакционную камеру; и ! вертикальную трубу, функционально соединенную с источником газа, для ввода газового потока в реакционную камеру. !2. Реакторная система по п.1, в которой ток подводят непосредственно к накальному элементу через электрический подвод в опорной плите. ! 3. Реакторная система по п.1, в которой реакционная камера дополнительно включает смотровое окно для наблюдения за внутренней частью реакционной камеры. ! 4. Реакторная система по п.1, в которой вертикальная труба сделана из кремния. ! 5. Реакторная система по п.1, дополнительно включающая по меньшей мере одну дополнительную вертикальную трубу, введенную в реакционную камеру. ! 6. Реакторная система по п.1, в которой вертикальная труба выполнена с возможностью приема отложений из поликристаллического кремния в реакционной камере. ! 7. Реакторная система по п.1, в которой вертикальная труба дополнительно включает соединительный наконечник и корпус трубы, причем соединительный наконечник предназначен для соединения с источником газа. ! 8. Реакторная система по п.7, в которой диаметр корпуса трубы выбирают на основе по меньшей мере желательной величины расхода газового потока. ! 9. Реакторная систем