Способ получения кремния в реакторе с псевдоожиженным слоем с использованием тетрахлорсилана для снижения осаждения на стенках реактора - RU2011100476A

Реферат

1. Способ получения кремния, включающий: ! 1) подачу осаждающего газа, содержащего водород и кремниевый мономер, во внутреннюю область реактора с псевдоожиженным слоем, где кремниевый мономер выбран из SiH4 и HSiCl3, причем осаждающий газ вводят в нагреваемую зону реактора с псевдоожиженным слоем, и одновременно ! 2) подачу травильного газа, состоящего по существу из SiCl4, в окружающую область реактора с псевдоожиженным слоем, где окружающая область находится между указанной внутренней областью и стенкой реактора с псевдоожиженным слоем, причем количество кремниевого мономера на стадии (1) является достаточным для осаждения кремния на псевдоожиженных частицах кремния в реакционной зоне, расположенной выше нагреваемой зоны реактора с псевдоожиженным слоем, а количество травильного газа на стадии (2) является достаточным для удаления кремния со стенки реактора с псевдоожиженным слоем. ! 2. Способ по п.1, где осаждающий газ происходит из отходящего газа из реактора Сименса. ! 3. Способ по п.1, где поток отходящего газа из одного или более реакторов Сименса после выхода из реакторов Сименса и перед введением в реактор с псевдоожиженным слоем разделяют с получением по меньшей мере части осаждающего газа и по меньшей мере части травильного газа. ! 4. Способ по п.3, дополнительно включающий введение дополнительных хлорсиланов в осаждающий газ. ! 5. Способ по п.4, где дополнительные хлорсиланы содержат HSiCl3, SiCl4 или их комбинацию. ! 6. Способ по п.2 или 3, дополнительно включающий использование кремния, полученного в одном или более реакторах Сименса, в интегральных микросхемах и/или в солнечных батареях. ! 7. Способ по п.1, дополнительно