Реакторная система с золотым покрытием для осаждения поликристаллического кремния и способ - RU2010143546A

Реферат

1. Реакторная система, содержащая: ! - реакционную камеру, содержащую по меньшей мере одно основание, установленное в реакционной камере, и корпус, в рабочем состоянии соединенный с основанием, причем по меньшей мере часть реакционной камеры покрыта слоем золота, имеющим толщину по меньшей мере примерно 0,1 мкн; ! - по меньшей мере одну нить, прикрепленную к основанию; ! - источник электрического тока для подвода тока к нити; и ! - источник газа, при работе соединенный с реакционной камерой для прохождения газа через реакционную камеру. ! 2. Реакторная система по п.1, в которой ток подается непосредственно к нити по токовводу в основании. ! 3. Реакторная система по п.1, в которой реакционная камера содержит также, смотровое окно для рассматривания внутренней части реакционной камеры. ! 4. Реакторная система по п.1, в которой реакционная камера покрыта слоем золота, имеющим толщину примерно от 0,5 до 3,0 мкн. ! 5. Реакторная система по п.1, в которой по меньшей мере одна нить содержит кремний. ! 6. Реакторная система по п.1, содержащая также систему охлаждения, имеющую по меньшей мере один вход для жидкости и один выход для жидкости, при работе соединенные с реакторной системой. ! 7. Реакторная система по п.1, в которой реакторная система является реакторной системой для химического осаждения из паровой фазы. ! 8. Реакторная система по п.1, в которой реакционная камера, покрытая слоем золота, имеет коэффициент излучения примерно от 0,01 до 0,03. ! 9. Реакционная камера для применения в реакторе химического осаждения из паровой фазы, содержащая: ! - по меньшей мере одно основание, установленное в реакционной камере; ! - по меньшей мере одну нить, п